【招标预告】单室四源电阻式镀膜设备（JJ2025000457）延期公告
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基本信息
| 地区 | 天津 天津市 | 采购单位 | 南开大学 |
| 招标代理机构 | 项目名称 | 单室四源电阻式镀膜设备 | |
| 采购联系人 | *** | 采购电话 | *** |
延期信息
| 延期理由： | 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2025-04-15 17:00 | ||
|---|---|---|---|
| 项目名称 | 单室四源电阻式镀膜设备 | 项目编号 | JJ2025000457 |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | 2025-04-14 18:01:50 | 公示截止日期 | 2025-04-15 17:00:00 |
| 采购单位 | 南开大学 | 付款方式 | 合同签定生效后，预付合同总额的 40%；货物到达需方指定地点并安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付合同总额的 60%余款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 合同签定生效后7个工作日内 | |
| 预算 | 未公布 | ||
| 收货地址 | 南开大学八里台校区化学楼南楼207 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2025-04-15 17:00 | ||
采购清单1
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 单室四源电阻式镀膜设备 | 1 | 台 |
| 品牌 | 沈阳科诚 | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | DM650 | ||
| 技术参数 | 该设备主要由真空室腔体，蒸发源系统，样品台系统，真空泵机组，设备机架和电控系统组成，设备前门可与手套箱对接。 1、真空室腔体：1套 1)外形：优质304不锈钢方形前后开门真空室腔体1套，内部尺寸长650mm*650mm*700mm，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉式方门，前门配DN100视窗两套；后门配DN100视窗两套， 2)底部：金属源接口2套，有机蒸发源接口2套.以及MCVAC水冷膜厚探头接口2套,烘烤照明两套 3)顶部：水冷样品台接口1套，气动挡板接口2套，GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀接口1套,CF35热电偶法兰一个 4)右侧壁：水冷脂润滑JTFB-1300分子泵接口一套，CCQ-200CF接口一套，CF35预抽法兰接口一个 5)左侧壁；KF16高真空电阻规接口及CF35高真空电离规接口各一个，预留法兰若干 6)腔体漏率：整体漏率优于5×10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于10Pa。 7)内部装有衬板，方便清理 2、蒸发源系统：1套 1)金属源2套：水冷铜电极2组，兼容蒸发舟（钨、钼，钽舟）和螺旋丝，可蒸镀金属和氧化物等，采用气缸挡板，翻盖开关，1KW直流电源2台，可切换，数字显示，蒸发电源可以通过软件控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过310C膜厚仪PID（闭环控制），可单通道自动调节蒸发速率； 2)有机蒸发源2套；采用铠装加热丝，安全洁净，最高加热温度：500℃，配4CC石英玻璃舟，采用气缸挡板，翻盖开关，采用直流电源2台，通过日本导电温控表进行PID精确温度控制，温控精度±1℃，温控表显示精度0.1℃； 3)隔板：蒸发源采用隔板分隔，避免交叉污染，部分隔板可免工具拆卸。 3、样品台系统：1套 1)基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速5～20转／分，通过触摸屏控制连续可调； 2)基片升降：；金属源衬底与蒸发源间距320mm-520mm，有机源270mm-470mm衬底与蒸发源间距通过触摸屏控制连续可调； 3)基片挂架：承载200*200mm插入式样品托架， 4)基片挡板：采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制，旋转开关， 5)样品水冷：采用小型制冷水机制冷，冷却水温度20℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃； 6)样品测温；采用热电偶连接显示器显示温度 7)200mm*200mm样品镀膜均匀度±5% 4、真空泵机组：1套 1)VRD-30双级泵1台； 2)DDC-JQ40-KF真空电磁充气阀1台； 3)KF40泵阀连接软管1套； 4)GDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀1台； 5)JTFB-1300L水冷脂润滑分子泵1台； 6)CCQ-200CF气动超高真空插板阀1台； 7)CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀1台； 8)GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀1台； 9)ZDF-5227数显真空计1台（测量范围：1×105～1×10-5Pa）。 5、设备机架：1套 1)40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑； 2)3英寸万向轮4件，移动调整； 3)M16地脚4件，锁紧定位。 6、其他电控系统：1套（电气控制采用设备机架内置） 1)烘烤照明电源：1台；(集成电气) 2)总控制电源1台，配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台及挡板控制器，蒸发源挡板控制器，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等。 7、其他技术参数： 1)缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能； 2)供电：～220V单相供电系统（峰值4KW）； 3)供水：小型循环制冷水机，冷却水温度20℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃； 4)供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门； 5)极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间小于35分，充干燥氮气。 | ||
| 生产厂家 | 沈阳科诚真空技术有限公司 | ||
| 售后服务 | 按国家法定或行业要求提供售后服务。 | ||
南开大学
2025-04-14 18:01:50
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